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壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空

簡要描述:Free6D.3-2.150.G2,壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實現(xiàn)對六軸并聯(lián)運動的解算,分配到各驅動單元模塊,實現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調節(jié)。

  • 產品型號:Free6D.3-2.150.G2
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-11
  • 訪  問  量:1422

詳細介紹

壓電·六軸并聯(lián) Free6D.3-2.150.G2

? 多軸姿態(tài)同時調節(jié)、結構穩(wěn)定、剛性高

由納米級驅動單元實現(xiàn)的六自由度并聯(lián)結構,有效降低累積誤差

多軸姿態(tài)同時調節(jié)、結構穩(wěn)定、剛性高

平動行程:X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm;

角擺行程:ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °

最小步伐:0.1 μm/5 μrad;

可提供真空環(huán)境規(guī)格;

控制器:根據(jù)用戶輸?的位移指令,實現(xiàn)對位移臺六軸空間姿態(tài)的運動調節(jié)

控制方式:各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實現(xiàn)對六軸并聯(lián)運動的解算,分配到各驅動單元模塊,實現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時調節(jié);

控制軟件:提供PC端使用軟件,支持labview,串口命令集控制

 

壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空——詳細參數(shù):

壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空

壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空

 

壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空——尺寸圖

壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空

 

 

 

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