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XYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空

簡要描述：SH30.xyz.C，XYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空
緊湊型 “SH 系列“ 高負(fù)載系列

  • 產(chǎn)品型號：SH30.xyz.C
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2025-12-12
  • 訪  問  量：3232

詳細(xì)介紹

壓電·三維掃描運動 SH30.xyz.C

? 針對精密光學(xué)、半導(dǎo)體表征等“3自由度掃描運動"需求的定制解決方案



• 三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x 15 um；

• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.3 nm；

• 最大負(fù)載10 kg；

• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；


XYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空——詳細(xì)參數(shù)：



XYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空——尺寸圖：

XYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空


多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。







 

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